詳細(xì)內(nèi)容
半導(dǎo)體制造中的PFA
半導(dǎo)體是一種非常重要的電子材料，在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明等領(lǐng)域都有使用，大部分的電子產(chǎn)品和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)聯(lián)，包括智能手機(jī)、電腦和家用電器等。隨著半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展，晶體管尺寸從10μm（微米）縮小到了7nm(納米)，甚至5nm（納米），對(duì)化學(xué)品的純度要求非常苛刻。
含氟聚合物PFA是半導(dǎo)體制造應(yīng)用的重要材料之一，主要用于液體處理和運(yùn)輸、化學(xué)包裝、晶圓處理和過(guò)濾。
PFA清洗花籃
清洗是PFA過(guò)濾網(wǎng)的重要工藝環(huán)節(jié)，用于去除半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造和封裝測(cè)試步驟中存在的雜質(zhì)。PFA清洗花籃，是晶片清洗工藝的重要工具，因?yàn)橐c藥液接觸，需要其耐酸堿性。由于花籃要與晶片相接觸，需要表面光滑。
PFA清洗槽
PFA清洗槽，用于浸泡、清洗器皿。PFA能耐受清洗溶液的腐蝕性，無(wú)溶出無(wú)析出，不會(huì)污染芯片晶圓。
PFA支架
PFA支架，在半導(dǎo)體濕法過(guò)程中，晶圓需要放置在特定支架上。利用PFA優(yōu)秀的柔韌性和加工性能，可以熔融加工制作成各種形狀的支架。
PFA過(guò)濾網(wǎng)
PFA過(guò)濾網(wǎng)，半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中需要清洗或過(guò)濾鹽酸、硝酸、雙氧水以及其他一些防腐蝕要求的化學(xué)品流體，過(guò)濾材質(zhì)通常為高純PFA材料。在半導(dǎo)體蝕刻和清洗中，PFA還被制成各種工具，如流量計(jì)、燒杯等，以保證蝕刻液、清洗液的高純度。
化學(xué)機(jī)械拋光是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一種技術(shù)，用來(lái)對(duì)正在加工中的硅片或其它材料進(jìn)行平坦化處理，所用到的液體是含有細(xì)顆粒的研磨液。利用PFA光滑性能制成的容器可防止?jié){料中的雜質(zhì)與晶圓接觸。
半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的制造需要數(shù)百道工序，即使是少量雜質(zhì)也將對(duì)最終產(chǎn)品產(chǎn)生巨大影響。PFA具有極強(qiáng)的化學(xué)穩(wěn)定性，它能忍受高溫、強(qiáng)酸等極端環(huán)境，并且不會(huì)與溶劑發(fā)生反應(yīng)，使得它成為儲(chǔ)存容器和運(yùn)輸管道的良好材質(zhì)。
此外，半導(dǎo)體制造過(guò)程中要進(jìn)行種種不同處理，要在最高溫度接近200℃時(shí)用氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、氨、過(guò)氧化氫水溶液等藥液處理。既能承受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿，高溫和高壓的環(huán)境，又性能穩(wěn)定，這是PFA在半導(dǎo)體行業(yè)廣受歡迎的原因。